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高压/特种电源

微波电源及发生器

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MPS系列微波电源

分类:

高压/特种电源

文件大小:

1.2M

时间:

2021-12-28 13:33:42

所属人群:

所有人

MPS系列微波电源

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高压/特种电源

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微波电源及发生器

微波开关电源是基于IGBT高频逆变技术的新型微波电源，集阳极高压电源、灯丝电源和磁场电源(3kW微波电源除外)于一体,为3kW、6kW、10kW、15kW、25kW、75kW、100kW连续波磁控管提供工作条件。该产品用于MPCVD、微波等离子体刻蚀、微波等离子体去胶等领域。

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产品编号

产品系列:

MPS系列

数量

库存:

所属分类

高压/特种电源

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产品描述

参数

型号定义

主要参数

● 高频逆变技术，功率密度高，体积小，可靠性高

● 响应快、控制精准、稳定性好

● 产品具有恒压、恒功、恒流控制模式

● 所有外部连接件全部采用快插端子和航插，安装维护便捷

● 灯丝电源配置灵活，可内置亦可外置

● 快速打火检测及保护

● 丰富、快速的检测和保护功能

● RS485标准通讯接口

● 采用标准机箱（3U：3kW、6kW,6U：10kW、15kW、25kW），安装方便

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销售热线：0838-2900585 2900586
售后热线：0838-2900488 0838-2900938
公司总机：0838-6930000
公司传真：0838-2900985
电子邮箱：injet@injet.cn
公司地址：四川省德阳市金沙江西路686号

	1kW微波电源	3kW微波电源	5kW微波电源	10kW微波电源	15kW微波电源	30kW微波电源	75kW微波电源	100kW微波电源
阳极额定电压电流	4.75kV370mA	5.5kV1000mA	7.2kV1300mA		10kV1600mA	12.5kV1800mA	13kV3000mA	18kV4500mA
灯丝额定电压电流	DC3.5V10A	DC6V25A（内置）	DC12V40A（外置）		DC15V50A（外置）	DC15V50A（外置）	AC15V110A（外置）	AC15V120A
磁场额定电压电流	-	-	DC20V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V10A
注：产品不断创新，性能继续提升，本参数说明仅供参考。